Influence de l'hydrogène atomique sur l'apparition des nanocristaux

Les résultats expérimentaux indiquent que les nanocristaux se forment dans un plasma de silane fortement dilué dans de l'hydrogène, comme le montrent les spectres Raman et des photos de microscopie électronique à haute résolution des films déposés. De même des expériences ont montré que l'hydrogène atomique joue un rôle important dans la cristallisation des couches amorphes de silicium [81]. Nous avons donc choisi de modéliser l'effet de l'hydrogène atomique sur les agrégats de structures amorphes obtenues lors de simulations de croissances dans un plasma de silane pur. Ainsi, nous avons utilisé le même code de croissance d'agrégats, mais en remplaçant les molécules de silane par de l'hydrogène atomique. Nous avons ensuite lancé des réactions successives entre de l'hydrogène atomique et des agrégats de tailles différentes.